一、無(wú)塵室系統(tǒng)施工流程
1、新風(fēng)經(jīng)過(guò)濾后與回風(fēng)混合，進(jìn)入風(fēng)冷空調(diào)機(jī)，通過(guò)中效過(guò)濾器，經(jīng)末端低阻力過(guò)濾器后將符合溫濕度、潔凈度要求的空氣送入無(wú)塵室。
2、氣流組織
（1）萬(wàn)級(jí)間全部采用上送兩側(cè)回風(fēng)，車間內(nèi)利用柱位、側(cè)墻做技術(shù)夾層回風(fēng)道，接回風(fēng)管道至空氣處理機(jī)組?？諝饨?jīng)粗、中、高三級(jí)過(guò)濾器和溫濕度處理后送入凈房。
（2）新風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行粗、中二級(jí)過(guò)濾，以確?？諝獾暮瑝m濃度較低，減少外部塵源影響，提高無(wú)塵室的凈化效果，并大大延長(zhǎng)過(guò)濾器的使用壽命，減少運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用。
（3）新風(fēng)量根據(jù)人員衛(wèi)生新風(fēng)要求(每人新風(fēng)量＞35m3/h)，并保證無(wú)塵室內(nèi)正壓的要求經(jīng)計(jì)算確定。(人員在20人以內(nèi))
二、無(wú)塵室施工
（1）天花：潔凈區(qū)及生區(qū)域用雙層保溫（PU）彩鋼板，無(wú)塵明亮，色用灰白，厚50mm。符合電子廠房潔凈防靜電要求。
（2）間隔：潔凈區(qū)及生區(qū)用雙面彩鋼保溫（PU）板圍護(hù)及間隔。潔凈車間內(nèi)間隔與地面及無(wú)花交角做元弧及陰角接口，防積塵及易于衛(wèi)生清潔。
（3）密閉門：?jiǎn)紊乳T：900*2000，上做玻璃觀察窗（同間隔墻平窗尺寸）,裝通道鎖，門及門框采用不湫鋼制作。
（4）地面：防靜電規(guī)范
A.潔凈區(qū)水泥地面經(jīng)處理后做3mm防靜電環(huán)氧地坪。符合歐洲EN548標(biāo)準(zhǔn)和要求。防火性能符合：DIN4102-1。B1級(jí)：抗燃燒性符合ISO06923，難燃；抗靜電性＜+/-100V?？够瘜W(xué)性能符合EM423；耐稀酸、油脂、及乙醇、丙酮、石漬溶劑等。具有不吸塵、不吸灰的特性。
（5）柱子：潔凈區(qū)柱子用彩鋼板全包邊，并作?回風(fēng)技術(shù)夾層。
（6）風(fēng)淋室：按規(guī)范要求，無(wú)塵室的風(fēng)淋室設(shè)計(jì)雙人的2個(gè)。
三、無(wú)塵室照明、配電
無(wú)塵室（1萬(wàn)級(jí)）用明裝凈室?guī)д址缐m燈402。工作區(qū)照度＞250Lux，走道照度＞100Lux,有精細(xì)加工操作區(qū)域可采用局部照明。布線按國(guó)家規(guī)范執(zhí)行，用穿線鋼管暗敷，符合防火及用電規(guī)范。所有管線穿過(guò)潔凈區(qū)域均做好密封，線管線槽的內(nèi)孔（內(nèi)槽）應(yīng)全密封。進(jìn)入凈房的氣管、水管也須做密封，能設(shè)置在頂棚上走的管道，設(shè)置在頂棚上。使車間整潔干凈。照明、配電按國(guó)家有關(guān)規(guī)范及甲方要求，設(shè)計(jì)及制作，滿足生及管理對(duì)設(shè)備運(yùn)行及控制的要求。